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2019-04-10
カテゴリトップ>その他
アルバック機工(株) ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ [ DA41D ]


【特長】

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。

【仕様】

●排気速度(L/min)50/60Hz:40/46
●到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]
●吸気口径(mm):12
●電源(V):単相100
●全幅×全長×全高(mm):157×336.5×217
●騒音値(dB):-
●寸法(mm):157×336.5×217
●異電圧対応可能(要相談)
●到達圧力(KPa):3.3
●吸排気管径(mm):O.D.φ9×I.D.φ6(G1/4)
●最大寸法(mm):157(W)×336.5(L)×217(H)
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす